


新品推薦 - S20A.R2S一維θz無磁壓電旋轉臺:單向大行程,更強承載
隨著精密制造和前沿科研的快速迭代,精密角度定位的需求也愈發嚴苛,既要具備納米級的定位精度,也要適配極端工況的使用需求,更要貼合細分場景的個性化操作。在此背景下,芯明天S20A.R2S一維θz無磁壓電旋轉臺,作為S20A系列壓電旋轉臺的新晉核心成員,S20A.R2S基于細分場景需求的精準研發,為半導體制造、精密光學、量子科研等領域,提供高效、穩定的精密角度調整解決方案。
核心產品特點
精準設計,適配專業工況
S20A.R2S壓電旋轉臺延續了無磁壓電定位技術的成熟積累,結合單向角度調整的應用特性,在行程、承載、精度與環境適配性上具有針對性優勢。
01、一維θz無磁結構,杜絕磁場干擾
S20A.R2S采用一維θz軸單向旋轉設計,內部結構與關鍵材質均經過特殊無磁處理,從根源上消除磁場產生與干擾問題。這一設計使其可直接應用于電子束加工、量子實驗等磁場敏感場景。

02、2mrad單向行程,滿足大角度調整需求
S20A.R2S可實現最大2mrad的單向旋轉行程,作為S20A系列的重要拓展,其單向行程與S20A.R1S-C1W的±0.7mrad雙向行程形成精準互補,為單向角度補償、固定姿態設定等場景,提供了更大的操作空間。
03、3kg高承載能力,適配更多場景
在結構設計上進行優化升級,S20A.R2S的額定承載能力達到3kg,可穩定搭載重型光學鏡片、晶圓檢測夾具、精密探針卡等工件。更高的承載能力減少了多臺設備組合使用的成本,也節省了設備安裝空間。

04、納米級精度,保障定位一致性
S20A.R2S的線性度與重復定位精度同樣表現優異,可長期維持納米級的定位穩定性與一致性。無論是長時間的精密檢測,還是高頻次的角度設定,都能精準輸出預設角度,為高精度加工、科研實驗提供可靠的定位保障。
05、復合材質設計,兼顧剛度與輕量化
整體采用不銹鋼+鋁合金復合材質設計:既保障了設備的結構剛度與耐磨性,確保高承載下的運行穩定性;又能實現產品輕量化,讓設備的安裝與集成更加靈活便捷。

技術參數
| 型號 | S20A.R2S/K |
| 運動自由度 | θz |
| 驅動控制 | 1路驅動,1路傳感/1路驅動 |
| 標稱旋轉角度(0~120V) | 1.6mrad(≈330秒) |
| Max.旋轉角度(0~150V) | 2mrad(≈413秒) |
| 傳感器類型 | SGS/- |
| 分辨率 | 0.04μrad(≈0.01秒) |
| 線性度 | 0.008%F.S. |
| 重復定位精度 | 0.01%F.S. |
| 空載諧振頻率 | 1550Hz |
| 帶載諧振頻率 | 380Hz@3kg |
| 閉/開環空載階躍時間 | 30ms@3kg/10ms |
| 靜電容量 | 19μF |
| 承載能力 | 3kg |
| 材質 | 不銹鋼、鋁合金 |
| 重量 | 1520g |
適配應用場景
覆蓋多領域精密定位需求
憑借高效、精準的性能設計,S20A.R2S壓電旋轉臺可廣泛應用于多個高端領域的精密定位場景,為各類核心工序提供穩定支撐。
1、半導體制造
晶圓檢測實現晶圓和掩模版的精確對準與定位、芯片鍵合探針卡微小角度調整等;
2、精密光學
真空環境下光路調整、激光加工光學元件角度設定、激光光束的偏轉與穩定等;
3、生物工程
無磁環境下提供樣品在顯微鏡下進行超高精度旋轉與操縱、醫療精密器械定位等;
4、精密計量與檢測
干涉儀、計量儀的單向角度校準,重型精密工件的尺寸檢測定位。
定制化服務:貼合每一個專屬需求

S20A.R2S壓電旋轉臺支持根據客戶的實際應用場景進行個性化開發,無論是行程范圍的微調、安裝接口的定制,還是控制方式的適配,芯明天都將為您提供從需求溝通到方案落地的全流程服務,確保產品與工況完美契合。
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