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量程翻倍!芯明天2mm量程電容測微儀C2D18,精準丈量微納世界

更新時間: 2025-12-16

電容測微儀是一種基于電容傳感原理的高精度測量儀器,主要用于微小位移、厚度、間隙、振動等物理量的非接觸式檢測,廣泛應用于精密制造、半導體、光學技術、航空航天等對測量精度要求高的領域,是壓電納米定位、微納加工設備等的關鍵配套測量部件。芯明天新品C2D18電容測微儀,具備2mm大行程測量能力,在量程實現(xiàn)突破的同時,始終堅守納米級測量精度,兼顧寬量程與高精度核心需求。

一、新品推薦:2mm量程電容測微儀C2D18

電容測微儀通過將被測物理量,如微小位移的變化轉化為電容值的變化,再經信號處理電路將電容變化轉換為可讀取的電信號,從而實現(xiàn)對微小量的精確測量。其測量分辨率可達到納米級,是微納尺度測量中的核心工具之一。

在現(xiàn)有電容測微儀產品線基礎上,我們新增2mm量程電容測微儀C2D18,進一步完善了從100μm到2mm的全量程覆蓋。該產品旨在為高端精密加工、壓電定位系統(tǒng)配套、工業(yè)檢測及科研實驗等多場景,提供范圍更廣的納米級感知能力,為大行程微小量測量提供更全面的方案,同時讓整體測量方案的靈活性與適配性更趨完善。

新品三大核心優(yōu)勢:

? 1.量程突破,覆蓋更廣場景:2mm超大量程較原有的1mm大量程產品實現(xiàn)翻倍拓展,無需頻繁更換設備,即可滿足從微米級到毫米級的多尺度測量需求,適配更廣泛的精密檢測場景。

? 2.精度堅守,延續(xù)納米級性能:分辨率與重復性保持納米級水準,通過優(yōu)化設計有效抵消溫度漂移、電磁干擾等環(huán)境影響,確保測量穩(wěn)定性;即使在2mm全量程范圍內,線性度依然維持納米級精度。

? 3.適配壓電定位全場景:可與芯明天壓電納米定位臺、控制器兼容,形成“定位-測量-閉環(huán)修正”一體化解決方案,生態(tài)協(xié)同性強;響應時間快,能**匹配動態(tài)閉環(huán)控制需求。

二、電容測微儀的應用領域

電容測微儀憑借納米級精度、非接觸測量、快速響應和高穩(wěn)定性等獨特優(yōu)勢,已成為現(xiàn)代精密測量領域的核心工具,廣泛應用于對精度要求極高的多個行業(yè):

1、半導體與微電子產業(yè)

晶圓加工全流程監(jiān)控:晶圓厚度與翹曲度測量、表面缺陷分析、掩膜版定位、晶圓臺多軸位移反饋;

芯片封裝與測試:封裝層間對準、芯片鍵合壓力與間隙控制等。

2、精密光學技術

光學元件制造:鏡片曲率、平行度、中心厚度的測量,光學元件鍍膜厚度控制,光學棱鏡角度校準,OLED面板厚度均勻性檢測,玻璃基板翹曲度測量等。

3、精密制造領域

超精密加工與監(jiān)測:機床主軸回轉精度檢測、精密導軌直線度測量、模具的磨損度監(jiān)測、微納結構位移、形變與振動檢測等。

4、航空航天領域

飛行器制造:機身尺寸的精密測量、復合材料層間間隙檢測、核心部件如航空發(fā)動機葉片振動分析、航天器太陽能帆板展開狀態(tài)監(jiān)測等。

5、汽車與能源裝備

汽車制造質量控制:剎車盤厚度變化檢測、發(fā)動機缸體平面度測量;

新能源設備制造:鋰電池極片厚度測量,燃料電池膜電極組件厚度檢測,風電葉片形變監(jiān)測等。

6、科研與通用測量

設備配套:可作為掃描探針顯微鏡、共聚焦顯微鏡等設備的樣品臺位置監(jiān)測傳感器,擴展設備縱向測量量程;

材料與環(huán)境測試:復合材料彈性模量測試、疲勞試驗微小形變監(jiān)測,真空、低溫、強磁場等特殊環(huán)境下的位移檢測與無干擾精密定位等。

芯明天電容測微儀適用于高精度定位、角度/直線振動測量、厚度檢測、旋轉機械間隙測量、跳動測量、自動對焦或調零、介電常數(shù)測量、天文望遠鏡鏡片定位、外徑測量、形變測量等。

三、芯明天電容測微儀核心特點

1.超高精度與分辨率

測量分辨率可達納米級,測量精度高,能滿足微納尺度測量的嚴苛需求。

2.非接觸式測量

測量過程中傳感器與被測物體無機械接觸,不會對被測表面造成劃傷、磨損,也不會因接觸力導致測量誤差,適合脆弱工件、柔性材料或高速運動物體的測量。

3.響應速度快

電容變化的檢測不受機械慣性影響,信號處理電路的響應時間可達微秒級,能實時捕捉動態(tài)變化如微小振動、高速位移等,可用于動態(tài)測量和閉環(huán)控制場景。

4.穩(wěn)定性好,抗干擾能力強

能有效抵消溫度漂移、電源波動等環(huán)境干擾;電容傳感器結構穩(wěn)定、無易損件,長期使用穩(wěn)定性高,維護成本低。

5.測量范圍靈活

CxxDxx全系列電容測微儀量程覆蓋100μm~2mm,實現(xiàn)從微米級到毫米級的大范圍測量,既能滿足微納加工的微小位移測量,也能適配精密機械的間隙檢測。

6.適配多種被測材質

當被測物體具有一定的導電性且滿足條件時,均可進行測量,不受材質影響,適配金屬、半導體、玻璃、陶瓷等多種材料的精密檢測。

四、芯明天電容測微儀全系列產品矩陣

1)傳感探頭

我們提供完整的電容測微儀產品線,以滿足不同精度、量程和動態(tài)性能的需求。

柱形電容傳感器

型號

C2D18

量程范圍

2000μm

靜態(tài)分辨率

20nm

動態(tài)分辨率(1kHz)

800nm

線性度

800nm

重復度

40nm

探頭尺寸

φ18×18.5mm

型號

C01D10

C02D10

C05D10

C1D10

量程范圍

100μm

200μm

500μm

1000μm

靜態(tài)分辨率

1.25nm

2.5nm

5nm

10nm

動態(tài)分辨率(1kHz)

50nm

100nm

200nm

400nm

線性度

50nm

100nm

200nm

400nm

重復度

2.5nm

5nm

10nm

20nm

探頭尺寸

φ10×18.5mm

方形電容傳感器

型號

C02F13

量程范圍

200μm

靜態(tài)分辨率

2.5nm

動態(tài)分辨率(1kHz)

100nm

線性度

100nm

重復度

5nm

探頭尺寸

13×13×4.3mm^3

2)傳感控制器(信號處理)

E75系列單通道、小體積傳感控制器

E75系列單通道傳感控制器,采用單通道設計,結構精簡緊湊,小體積特性使其能靈活適配空間受限的多種場景。可適配多種型號電容測微儀,廣泛應用于單點位微小位移測量、小型壓電定位系統(tǒng)閉環(huán)控制等場景,為單通道高精度傳感需求提供高效、精準的解決方案。

E01系列模塊化、多通道傳感控制器

E01機箱式傳感控制器適配多型號電容測微儀,具備納米級測量分辨率,采用模塊化設計理念,支持1至12通道自由選配,可根據(jù)實際需求靈活組合,適用于多場景。同時提供臺式結構與板卡式插件兩種形態(tài)選擇,兼顧獨立使用的便捷性與系統(tǒng)集成的兼容性。

 

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