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產(chǎn)品名稱:芯明天壓電陶瓷促動器宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)

產(chǎn)品型號:P83/P84

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:芯明天壓電陶瓷促動器宏微復(fù)合機(jī)構(gòu) P83系列壓電驅(qū)動測微頭是將標(biāo)準(zhǔn)的測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷相結(jié)合,通過手動調(diào)節(jié)大范圍的測微頭實現(xiàn)13mm大范圍的位移,測微頭的分辨率是10μm,再通過控制驅(qū)動電壓使壓電陶瓷相應(yīng)伸長或縮短到預(yù)定位置,從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動測微頭高分辨率的精調(diào)節(jié),

更新日期:2026-02-26

P83/P84芯明天壓電陶瓷促動器宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)的詳細(xì)資料:

    芯明天壓電陶瓷促動器宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)P83系列壓電驅(qū)動測微頭是將標(biāo)準(zhǔn)的測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷相結(jié)合,通過手動調(diào)節(jié)大范圍的測微頭實現(xiàn)13mm大范圍的位移,測微頭的分辨率是10μm,再通過控制驅(qū)動電壓使壓電陶瓷相應(yīng)伸長或縮短到預(yù)定位置,從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動測微頭高分辨率的精調(diào)節(jié),壓電陶瓷行程范圍可達(dá)20μm,壓電陶瓷運動的分辨率可<1nm,這個壓電驅(qū)動測微頭可以對元件進(jìn)行大行程、高精度定位。

     芯明天壓電陶瓷促動器宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)P84系列壓電驅(qū)動測微頭是將測微頭與高分辨率的壓電陶瓷結(jié)構(gòu)相結(jié)合,通過手動調(diào)節(jié)測微頭實現(xiàn)大范圍的位移, 再通過控制驅(qū)動電壓使壓電陶瓷相應(yīng)伸長或縮短到預(yù)定位置,從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動測微頭的精調(diào)節(jié),壓電陶瓷行程范圍可達(dá)110μm, 壓電陶瓷運動的分辨率達(dá)2.5nm,測微頭的分辨率是10μm,整體結(jié)構(gòu)可以對元件進(jìn)行大行程、高精度定位。

技術(shù)參數(shù)

型號

P84.X100S

P84.X100K

P83.X25S

P83.X25K

單位

運動自由度

X

X

 

傳感器類型

SGS

SGS

 

標(biāo)稱行程范圍

(0 ~+120 V)

80

20

µm±20%

zui大行程范圍

(-20 ~+150 V)

110

28

µm±20%

測微頭行程

13

13

mm

分辨率

7,2.5

1.5,0.5

nm

測微頭分辨率

10

10

um

閉環(huán)線性度

0.15

0.2

%F.S.

重復(fù)定位精度

0.05

0.1

%F.S.

推/拉力

16,4

20,5

N

剛度

1

2

N/mm±20%

靜電容量

1.8

1.8

μF±20%

材質(zhì)

鋼、鋁

 

重量

0.1

0.1

Kg±5%

出線長

1.5

1.5

m±10mm

 

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