技術(shù)參數(shù) 型號 | N90.XYZTR1S | N90.XYZTR2S | N90.XYZTR5S | N90.XYZTR1K
N90.XYZTR2K
N90.XYZTR5K | 單位 | | 運動自由度 | X,Y,Z,θx,θy,θz | 同S | | X、Y軸標(biāo)稱行程范圍
（0~120V） | ±6.5 | ±12.5 | ±25 | 同S | um±20% | Z軸標(biāo)稱行程范圍
（0~120V） | ±3.2 | ±6.4 | ±12.8 | 同S | um±20% | θx,θy軸標(biāo)稱行程范圍
（0~120V） | ±0.16 | ±0.32 | ±0.64 | 同S | mrad±20% | θz軸標(biāo)稱行程范圍
（0~120V） | ±0.24 | ±0.48 | ±0.96 | 同S | mrad±20% | 剛度 | 50 | 58 | 66 | 同S | N/um±20% | 重量 | 1 | 1.15 | 1.3 | 同S | kg±20% | | 重復(fù)精度 | 0.05 | - | %F.S. | | 閉環(huán)線性度 | 0.25 | - | %F.S. | 結(jié)構(gòu)形式 | 六自由度并聯(lián)式 | | 驅(qū)動方式 | 壓電陶瓷驅(qū)動 | | zui大承載 | 5 | kg | | 諧振頻率 | 1 | kHz±5% | 標(biāo)稱行程驅(qū)動電壓為：0~120V，zui大行程驅(qū)動電壓可到-20~150V | |
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