P72系列壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設(shè)計的，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計，物鏡補(bǔ)償量較小，具有超高聚焦 穩(wěn)定性，物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動物鏡頭聚焦提高精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。 典型應(yīng)用 • 三維成像 • 干涉/計量 • 表面結(jié)構(gòu)分析 • 共焦顯微 • 生物科技 • 半導(dǎo)體測試  體積小巧、易于集成、高動態(tài)、直線性好
壓電物鏡定位器體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，可實現(xiàn) 大行程110μm的位移。多種螺紋牙連接器可選，易于與其 他光學(xué)顯微鏡等集成。臺體采用柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)，無摩擦且具有*的分辨率。由于其空載諧振頻率可達(dá)350Hz，且可帶載200g負(fù)載 作高速精密運(yùn)動，在光學(xué)掃描、共焦顯微等領(lǐng)域得到廣泛 的應(yīng)用?？蛇x擇閉環(huán)版本，實現(xiàn)超高的定位精度。 螺紋適配器便于安裝  P72物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接，將物鏡快速鎖定在 預(yù)期位置 。 多種螺紋 牙 可 選 ， 如M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于與顯 微鏡集成安裝。 P72壓電物鏡定位器特性; • 大行程110μm • 大承載0.2kg • 毫秒級響應(yīng)時間 • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 開環(huán)/閉環(huán)可選 P72壓電物鏡定位器技術(shù)參數(shù)： 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | P72.Z100S P72.Z100K | 單位 | 運(yùn)動自由度 | Z | | 標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 80 | μm±20% | 大行程范圍（-20~150V) | 110 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | | 閉/開環(huán)分辨率 | 5/2.5 | nm | 閉環(huán)線性度 | 0.1/- | %F.S. | 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.05/- | %F.S. | 推/拉力 | 110/15 | N | 運(yùn)動方向剛度 | 1.4 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 350 | Hz±20% | 閉/開環(huán)空載階躍時間 | 10/3 | ms±20% | 閉環(huán)空載工作頻率 | 10%行程 | 50 | Hz±20% | 行程 | 15 | 大承載 | 0.2 | kg | 靜電容量 | 3.6 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋼 | | 重量 | 150 | g±5% |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。 |
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